性能参数：
用于形貌、体积、粗糙度的测量：
XY轴分辨率140 纳米，Z 轴分辨率10 纳米；
放大范围100-24000倍，16位激光彩色观察；
可精确测量线粗糙度和面粗糙度；
被测物体长×宽×高：50×50×128毫米。
